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    瀏覽次數:8 | 2021-05-11 14:39:35 | TAG:
    此文關鍵詞:探針接觸式輪廓儀

    臺階儀,膜厚儀,探針接觸式輪廓儀,3D輪廓儀

     

    儀器名稱: 臺階儀,膜厚儀,探針接觸式輪廓儀,3D輪廓儀 型號: 美國KLA-Tencor D-120
    檢測項目: 1、薄膜、涂層厚度測量;
    2、表面粗糙度+三維形貌;
    3、表面粗糙度測量;
    4、三坐標測量+三維形貌測量;
    5、20薄膜應力測量;
    6、20彎曲度和形狀測量。
    應用范圍: 可用于微電子、半導體、太陽能、薄膜、材料等領域實現納米級別表面二維形貌測量。垂直分辨率最大1A;垂直范圍0-1mm;單次掃描長度范圍小于55mm。
    制樣要求: 長寬小于30mm,厚度小于20mm,
    儀器性能 掃描長度:<30mm;
    垂直測量范圍(最大臺階高度):<1.9mm;
    掃描速度:2um/s到200 um/s;
    垂直范圍分辨率:2.5um臺階高度內測量分辨率0.1nm;
    重復精度:0.6m或0.1%臺階高度;
    最大樣品厚度:<20mm;
     

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