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| 儀器名稱： | 臺階儀，膜厚儀，探針接觸式輪廓儀，3D輪廓儀 | 型號： | 美國KLA-Tencor D-120 |
| 檢測項目： |
1、薄膜、涂層厚度測量； 2、表面粗糙度+三維形貌； 3、表面粗糙度測量； 4、三坐標測量+三維形貌測量； 5、20薄膜應力測量； 6、20彎曲度和形狀測量。 |
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| 應用范圍： | 可用于微電子、半導體、太陽能、薄膜、材料等領域實現納米級別表面二維形貌測量。垂直分辨率最大1A；垂直范圍0-1mm；單次掃描長度范圍小于55mm。 | ||
| 制樣要求： | 長寬小于30mm，厚度小于20mm， | ||
| 儀器性能 |
掃描長度：<30mm； 垂直測量范圍（最大臺階高度）：<1.9mm； 掃描速度：2um/s到200 um/s； 垂直范圍分辨率：2.5um臺階高度內測量分辨率0.1nm； 重復精度：0.6m或0.1%臺階高度； 最大樣品厚度：<20mm； |
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京公網安備11010802035698
