儀器名稱: | 白光干涉儀(非接觸式3D表面輪廓儀) | 型號: |
NewView7100白光干涉 儀美國ZYGO白光干涉儀 3D表面輪廓儀 NewView7100 |
檢測項目: |
表面粗糙度+三維形貌 臺階高度/斷差+三維形貌 樣品的三坐標測量+三維形貌 |
||
應用范圍: |
測試樣品表面的粗糙度和三維形貌:材料表面的起伏,平整度;凹坑的深度和面積影像三坐標可以測試樣品的空間位置:平行度、垂直度以及對角線距離等。優點: -可以測量大視野(多角)。 -可通過亞納米等級的高分辨率(0.1nm)測量大視野(多角)。 -測量時間短。 |
||
制樣要求: |
1.樣品需平整; 2.樣品尺寸不超過50*50mm就可以 |